产品特点
l前置 USB 端口便于将测量结果和其他数据存储到U盘中
lMTI 仪器专有的电容电路具有出色的精度和可靠性
l非接触式测量
l76-300 mm直径晶片范围
l可选配晶圆测量环
l晶圆定位挡块,确保精确对中
l以太网接口
l全功能远程控制软件(与Windows系统兼容)
l可选配校准晶圆